高低溫真空探針臺
產(chǎn)品概述:
可進行真空環(huán)境下的高低溫測試(4.2K~500K),可升級加載磁場,低溫防輻射屏設(shè)計,樣品臺采用高純度無氧銅制作,溫度均勻性更好,溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復(fù)性的PT100或者標定過的硅二極管作為測溫裝置,支持光纖光譜特性測試,兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動,器件的高頻特性(支持*高67GHz頻率),探針熱沉設(shè)計,LD/LED/PD的光強/波長測試,自動流量控制,材料/器件的IV/CV特性測試等。
高低溫真空探針臺選型注意事項:
※大需要測幾inch的晶圓或者器件!是否需要測試破片或者單顆芯片!小的單顆芯片尺寸!
※探針臺機械精度要求多高!
※點測樣品的電極尺寸!100μm *100μm或60μm *60μm的pad,還是FIB制作的mini pad,或者ic內(nèi)部的metal線路!
※多需要幾個探針同時去點測!
※是否會用到探針卡測試!
※光學(xué)顯微鏡的小分辨率需要用到多少!
※顯微鏡方面,是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測!
※探針點測時,對電流的要求是否達到100fa或者以下!低
電容要求是否要做到0.1pf!是否有射頻需求!
※接駁的測試儀器接口有哪些!
※測試環(huán)境時是否會需要加熱或者降溫! 是否需要密閉腔體!
※對chuck的漏電要求怎樣!是否需要添加低阻抗chuck!
※是否需要防震桌!
※若添置防震桌,是否有壓縮空氣!
聯(lián)系方式
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