探針臺應(yīng)用技術(shù)
三維磁場探針臺選型注意事項:
※大需要測幾inch的晶圓或者器件!是否需要測試破片或者單顆芯片!小的單顆芯片尺寸!
※探針臺機械精度要求多高!
※點測樣品的電極尺寸!100μm *100μm或60μm *60μm的pad,還是FIB制作的mini pad,或者ic內(nèi)部的metal線路!
※多需要幾個探針同時去點測!
※是否會用到探針卡測試!
※光學顯微鏡的小分辨率需要用到多少!
※顯微鏡方面,是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測!
※探針點測時,對電流的要求是否達到100fa或者以下!低
電容要求是否要做到0.1pf!是否有射頻需求!
※接駁的測試儀器接口有哪些!
※測試環(huán)境時是否會需要加熱或者降溫! 是否需要密閉腔體!
※對chuck的漏電要求怎樣!是否需要添加低阻抗chuck!
※是否需要防震桌!
※若添置防震桌,是否有壓縮空氣!
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